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CVD¿ë Diffuser ¨ª0.5ÀÌÇÏ ¹Ì¼¼ Micro Hole °¡°ø ±â¼ú È®º¸
´ëÇü Size MCT(~11G) º¸À¯ ¹× °¡°ø ±â¼ú È®º¸
ÃÑ 12´ë º¸À¯ : 8¼¼´ë ÀÌ»ó ¡æ 7´ë / 8 ¼¼´ë ¹Ì¸¸ ¡æ 5´ë(20È£±â,5È£±â)
- Upper Electrode -
- Shadow Frame -
- Ground ring -
CVD¿ë Diffuser ¨ª0.5ÀÌÇÏ ¹Ì¼¼ Micro Hole °¡°ø ±â¼ú È®º¸
8.6G±îÁö ´ëÀÀ°¡´ÉÇÑ Ceramic ¿¬¸¶Àåºñ º¸À¯
8.6G±îÁö ´ëÀÀ°¡´ÉÇÑ ¿¬¸¶±â º¸À¯